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第191章 追光二期攻EUV

    深城总部顶层的灯光,在二十五周年庆典的喧嚣散去后,并未熄灭,反而亮得更加执着,如同夜海中指引航向的灯塔。

    庆典的鲜花与掌声已被收起,取而代之的是悬挂在战略指挥中心巨大电子屏上的,一幅全新的作战示意图——「追光计划」二期,EUV攻坚战总览图。

    图上清晰标注着三路大军的进军路线丶技术节点与攻克时限,红丶蓝丶黄三色箭头,如同三柄利剑,直指那座名为「极紫外光刻」的技术珠峰。

    陈醒站在图前,身后是公司所有核心高管。庆典上宣布的「领跑」宣言言犹在耳,但此刻,每个人都清楚,口号必须踏踏实实地踩在每一个原子丶每一束光的精度上。

    「同志们,庆典结束了。」

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    陈醒的声音打破了沉寂,没有激昂的动员,只有冰冷的理性。

    「周明带来的消息大家都知道了。阿斯莫的管制升级,不是警告,是宣战。他们想把我们永远锁死在28nm的舒适区,扼杀我们向更高制程进军的所有可能。我们没有任何退路,『追光计划』二期,从现在起,进入战时状态!」

    他的目光扫过众人,最终落在林薇丶金秉洙和梁志远身上。

    「林薇,你作为项目总协调,我要你确保三路大军的资源,尤其是人才和资金,必须无限量丶无条件优先保障!金博士,梁工,正面战场,就交给你们了。」

    第一路,正面强攻,「光源与光学」突击队。

    合城,华夏芯谷深处,新落成的EUV光源实验室。这里的气氛比超净间更加凝重,空气中弥漫着臭氧和金属加热后的特殊气味,巨大的二氧化碳雷射器阵列发出低沉的嗡鸣。

    金秉洙博士双眼布满血丝,紧盯着主控屏幕上疯狂跳动的数据。第三次锡滴雷射轰击实验刚刚结束,结果依旧不理想。

    「功率稳定度92.3%,距离95%的工程化门槛还差一口气。」

    一位年轻工程师声音乾涩地汇报,脸上写满了沮丧。

    「锡滴的生成频率和雷射的同步精度,始终有纳秒级的抖动,导致等离子体状态不稳定,EUV光输出功率波动太大。」

    纳秒,对于常人而言是无法感知的一瞬,但对于需要以每秒数万次频率精准轰击微米级锡滴的EUV光源来说,却是生与死的界限。

    「问题出在哪里?是雷射器的脉冲控制,还是锡滴发生器的机械振动?」

    金秉洙的声音嘶哑,他已经在实验室连续盯了48小时。

    「我们排查了所有已知的可能。雷射器的稳定性已经做到了当前技术的极限。锡滴发生器的材料在连续高频冲击下,出现了微米级的形变……这可能就是抖动的根源。」

    来自华科院东北光机所的专家,指着电子显微镜下的一张材料结构图,眉头紧锁。

    「我们需要一种全新的丶具备极高抗疲劳强度和热稳定性的合金材料。」

    材料!又是材料!这仿佛是华夏科技向上攀登道路上,永远绕不开的拦路虎。

    「国内有能做的吗?」

    金秉洙问,心里其实已经有了答案。

    「有几家顶尖的材料研究所,但……时间。从配方设计丶熔炼丶到性能测试丶叠代,没有一年半载,很难拿出满足要求的样品。」

    一年半载?陈醒给出的两年工程样机时限,瞬间就显得无比紧迫。

    就在这时,实验室的门被推开,林薇带着一位身着便装,但气质精干的中年人走了进来。

    「金博士,介绍一下,这位是徐文渊教授,国家新材料重点实验室的首席科学家,也是我们『星火计划』最早期的顾问之一。徐教授在耐高温高强合金领域,是国内的绝对权威。」

    徐文渊没有寒暄,直接走到显微镜屏幕前,仔细看着那张材料结构图。

    「问题很典型。高频冲击下的晶界滑移和再结晶导致的疲劳。传统的镍基合金路线走到头了。」

    他抬起头,眼中闪烁着挑战难题的光芒。

    「我最近正在验证一种新的铼铱钽三元复合材料理论模型,或许可以解决这个问题。但需要调用国家实验室的兆吨级压力熔炼炉,而且……失败率会很高。」

    「需要什麽支持?」林薇言简意赅。

    「钱,人,以及……不怕失败的决心。」

    徐文渊看向金秉洙,

    「我可以立刻组织团队,但需要你们光源团队提供最详尽的工况参数和失效模型数据。」

    「没问题!」

    金秉洙眼中重新燃起希望的火光,

    「我们全力配合!」

    一条新的协作链路,在绝境中迅速搭建起来。

    国家力量的深度介入,为这场硬仗带来了新的变数。

    第二路,迂回包抄,「工艺与集成」智囊团。

    在同一栋楼的另一间大型实验室里,气氛则截然不同。

    这里没有震耳欲聋的雷射轰鸣,只有计算机集群散热风扇的呼啸,以及白板上密密麻麻的公式和设计图。

    梁志远和通过视频远程接入的章宸正带领着团队,进行着一场「螺蛳壳里做道场」的极限挑战:在不依赖EUV的情况下,利用现有的DUV光刻机,通过多重图形技术和设计-工艺协同优化(DTCO),无限逼近14nm工艺的性能。

    屏幕上,复杂的晶片布局图被各种颜色的线条层层分割,代表着一次次的光刻丶刻蚀丶沉积步骤。

    「第四次仿真结果出来了。」

    一位工程师汇报,声音带着一丝疲惫,

    「采用三重图形技术,理论上可以将线宽压缩到16nm,但……工序步骤增加了287%,预计良率……只有可怜的18%。成本是EUV路线的三倍以上。」

    18%的良率,三倍的成本!

    这意味着即使做出来,也毫无商业竞争力,只能作为技术验证的「花瓶」。

    会议室里一片沉寂。这条迂回路线,似乎一眼就看到了天花板。

    「我们不能只盯着线宽。」

     章宸的声音从音箱里传出,带着技术人特有的冷静,

    「我们换个思路。EUV的优势在于一次成型,图形精度高。我们DUV多重图形的劣势是步骤多,误差累积大。那我们就不要在极限线宽上和它硬碰硬。」

    他操控着共享屏幕,调出了「天权4号」的Chiplet架构图。

    「我们可以利用Chiplet的灵活性,进行系统级优化。将对制程最敏感的高性能CPU核心,依旧用我们能做到的最优DUV工艺来制造;而将对密度要求高,但对性能相对不敏感的内存控制器丶部分IO单元,尝试用这种多重图形技术去实现。然后,通过我们的先进封装进行集成。」

    他顿了顿,抛出一个更大胆的想法:

    「甚至,我们可以主动『放宽』一部分设计规则,接受在某些非关键区域拥有稍大的线宽,但通过架构优化和算法补偿,来弥补这部分性能损失。这叫『设计换良率』!我们的目标,不是做出一个PPT上完美的14nm晶片,而是做出一个在性能丶功耗丶成本和良率上达到最佳平衡,能够量产丶有市场竞争力的产品!」

    梁志远猛地一拍桌子:

    「有道理!我们之前陷入思维定式了,总想着复刻阿斯莫和宝积电的路线。既然制造端暂时无法超越,那就在设计和系统层面创造优势!章博士,我们立刻调整方案,重新进行DTCO仿真!」

    一条看似走不通的路,因为架构层面的创新思维,似乎又透出了一丝微光。

    第三路,合纵连横,「供应链与外交」破局组。

    就在金秉洙和梁志远在技术深海中奋力搏击时,林薇与周明,则在另一条看不见硝烟的战场上奔走。

    周明带着最精干的法务与政府事务团队,直飞欧罗巴联盟总部。

    他的目标,是赶在阿斯莫的游说彻底生效之前,利用一切可能的商业和法律手段,延缓甚至阻止欧罗巴跟随美国,将「悟道」晶片列入管制清单。

    在一间充满古典气息的会议室里,周明与欧罗巴委员会竞争事务总司的官员进行着艰苦的谈判。

    「秘书长先生,未来科技一直秉持开放合作的态度。我们的『悟道』晶片,旨在为全球AI产业提供更多元丶更高效丶更绿色的算力选择,这符合欧罗巴强调的『数字主权』和『战略自主』精神。对其进行不合理的限制,只会保护现有垄断者的利益,阻碍技术创新,最终损害的是欧罗巴自身企业的竞争力和消费者的选择权。」

    对方官员态度谨慎:

    「周先生,我们理解贵公司的立场。但安全问题,尤其是先进技术可能被用于军事目的的担忧,是客观存在的。我们需要看到更具约束力的承诺和透明的核查机制。」

    「我们可以签署最严格的技术使用承诺协议,接受国际机构认可的最终用户核查。」周明寸土不让,「但前提是,必须基于公平和非歧视的原则。我们反对任何未经证实的指控和泛化的安全概念。」

    与此同时,林薇坐镇深城,通过视频与东门子丶AND集团等战略夥伴的高层进行紧急磋商。

    「我们必须构建一条绕开美国管制的丶非核心的次级供应链。」

    林薇对着屏幕前的ANDCEO马克·安德森说道,

    「尤其是在光刻胶丶特种气体丶精密轴承这些虽然不直接涉及EUV核心,但一旦断供同样能让我们停摆的领域。AND在欧洲乃至全球的供应链影响力,至关重要。」

    马克·安德森面色凝重:

    「林,我明白。『天程T1』的成功让我们站在了同一条船上。我会动用AND的所有商业影响力,协助你们接触欧罗巴和霓虹的二级供应商。但你必须清楚,这非常敏感,而且无法解决最核心的问题。」

    「我明白。」

    林薇点头,

    「这只是为了争取时间,并确保我们现有的28nm和『天程T1』产线能够持续运转,为我们攻坚EUV提供稳定的现金流和时间窗口。」

    深夜,汇报与决策。

    夜色深沉,陈醒在办公室听取了林薇的汇总汇报。

    金秉洙那边,找到了材料学的外援,但前路依然艰险;梁志远和章宸调整了技术路线,看到了新的可能性,但成败未知;周明和林薇在外部斡旋,艰难地寻找着缝隙和盟友。

    三条战线,都取得了微小的进展,但也面临着巨大的不确定性。

    陈醒走到窗边,看着楼下依旧灯火通明的研发大楼。

    那里,无数个「金秉洙」丶「梁志远」和年轻的工程师们,正在为那一缕微乎其微的「光」而彻夜奋战。

    他转过身,眼神在疲惫中透出钢铁般的意志。

    「告诉金博士,不要有压力,按照科学规律办事,集团会顶住所有压力支持他。」

    「告诉梁工和章宸,他们的『设计换良率』思路非常好,我批准他们全力推进。」

    「告诉周明和林薇,他们的任何成果,都是为我们争取来的宝贵时间。」

    他顿了顿,声音低沉而有力:

    「同时,以我的名义,起草一份最高密级的『火种』计划。假设……我是说假设,EUV攻关在两年内无法取得决定性突破,我们要确保公司最核心的IP丶人才和数据,能够在一个绝对安全的环境中,继续进行下一代技术的研发。我们,必须做最坏的打算,尽最大的努力。」

    林薇心中一凛,她明白这个「火种」计划意味着什麽。

    这是陈醒在为这场国运之战的最终结局,准备一个无论如何也要保留下来的希望火种。

    「明白,我立刻去办。」

    林薇离开后,陈醒独自一人,再次看向那张EUV攻坚战总览图。

    三色箭头依旧坚定地指向顶峰。他知道,攀登才刚刚开始,最陡峭的冰壁和最致命的暴风雪,还在前方。

    而就在此时,他的加密手机亮起,是赵静发来的紧急信息:

    「陈总,皮衣科技刚刚发布了其新一代数据中心GPUP200的详细性能数据。其在特定AI训练任务上的算力,比我们的『悟道1号』工程样片高出约30%。同时,他们宣布了一项针对高校和研究机构的『算力捐赠计划』,意图非常明显……」

    陈醒的眼神瞬间锐利如鹰。

    EUV的雪山尚未翻越,云端算力的正面战场,硝烟已然扑面而来。